Характеристики и описание
- Производитель
- Страна производительЯпония
Свойства и преимущества серии MI:
- компактные;
- пьезоэлектрический привод;
- используют газоноситель для эффективного процесса испарения;
- поддержание точной температуры за счет встроенного нагревателя, термопары и PID контроля;
- испарение низкокипящих и вязких жидкостей;
- функция контроля расхода на выходе;
- работает в условиях вакуума и при атмосферном давлении.
Основные шаги процесса испарения рабочих жидкостей и подачи их в технологическую камеру:
- Измеряется расход рабочей жидкости из источника и расход контролируется клапаном посредством системы обратной связи.
- Жидкость полностью и мгновенно испаряется.
- Образующийся газ подается в технологическую камеру без реконденсации в жидкую фазу.
Компактные испарители серии MI/MV
Для своей работы используют массовый расходомер жидкости, а также РРГ, который контролирует ввод газаносителя в испаритель.
Принцип работы испарителей серии MI показан на рисунке ниже.
Свойства и преимущества серии MV:
- Одинаковый с серией MI принцип действия.
- Имеется настройка разности температуры в области смешивания и испарения.
- Низкая температура области смешивания предотвращает температурное расслоение смеси.
- Высокая температура области испарения создает высокую скорость испарения (20 г/мм).
Технические характеристики
|
Модель |
MI-1000 |
MV-1000 |
|
Тип жидкости |
Все жидкости, кроме коррозионных к нержавеющей стали (например, HCl и HF) |
|
|
Пример создания потока: TEOS (до 7г/мин), IPA (до 3сс/min) |
Макс. 5,0 CCM перевод (перевод жидкой фазы) |
|
|
Нагреватель |
120 В (100 Вт)/208 В (100 Вт)/240 В(100 Вт) |
Контрольный клапан: 120 В (100 Вт)/ 208 В (100 Вт)/240 В(100 Вт) Испаритель |
|
Смачиваемые части |
SUS316L, PFA |
|
|
Настройки температуры |
Макс. 140°С |
Управляющий клапан: макс. 140°С Испаритель: макс. 200°С |
|
Датчик температуры |
Термопара К типа |
Термопара К типа (Управляющий клапан, испаритель) |
|
Выключатель температуры |
Высокий допуск 2450RC 160°С (ELMWOOD) типа NC |
Управляющий клапан: 2450RC 160°С (ELMWOOD) типа NC Испаритель: 2450RC 250°С (ELMWOOD) типа NC |
|
Наружные утечки |
Менее чем 1×10-8 Па·м3/с (He) |
|
|
Полные утечки |
Управляющий клапан: менее чем 1×10-6 Па·м3/с (He) Вариант с воздушным клапаном: менее чем 1×10-9 Па·м3/с (He) |
Управляющий клапан: менее чем 1×10-6 Па·м3/с (He) Испаритель: менее чем 1×10-9 Па·м3/с (He) |
|
Стандартное соединение |
Вход для жидкости 1/8” VCR «папа», вход для газа 1/4” VCR «мама», выход для газа 1/4” VCR «папа» |
Вход для жидкости 1/8” VCR «папа», вход для газа 1/4” VCR «мама», выход для газа 1/2” VCR «папа» |
|
Рабочая температура |
От 15 до 50°С |
От 15 до 50°С |
|
Сопротивление давления |
1,0 МПа (G) |
1,0 МПа (G) |
|
Опции |
Пневматический клапан |
Пневматический клапан |
|
Масса (без кабеля) |
620±10 г (Стандартное исполнение), 700±10 г (исполнение с воздушным клапаном) |
1110±10 г (Стандартное исполнение), 1190±10 г (исполнение с воздушным клапаном) |
Габаритные размеры
Компактные испарители жидкостей HORIBA STEC серии MI/MV
Под заказ
Цену уточняйте
Минск ∙
Доставка
Оплата и гарантии